“很是好！”杨子光兴奋所在头说道，“你们能在这方面跑到所有公司的前面临我们国家具有重大的战略价值，你们肯定要牢牢地占领这个技巧制高点，这样我们国家才不会被外洋洽商。”
随后杨子光也是视察了瑞星科技公司，当杨子光见到瑞星科技公司正在测试实验的第三代高端1光刻机。
瑞星科技公司和燕京物化所团结研制的氟化氪激光光源往年已经变得成熟了，为瑞星科技公司供应了稳固可靠的光源。
同时瑞星科技公司也是凭证杨杰的技巧方案开发出了掩模台、工件台职位丈量装置及丈量要领，而且申请了国家专利。
这套装置接纳了若干激光干预干与仪取代电容传感器，使水平向和垂直偏向的传感器一致，探索出了一套独占的算法，对丈量历程中引进对各向丈量干预干与仪的举行了权重分配，使得对掩模台职位丈量越发准确。
瑞星科技公司通过数年的艰辛研发，总算是将工件台和掩膜台运动精度独霸在了三纳米的水平，这一切是瑞星科技公司和机床研究院和数个研究所一同攻关的效果，光是这么一个系统加入的技巧职员就到达了上千名。
三阳光学厂在应用了机床研究院超高精度的磨床后和天马科技公司供应的研磨液后总算是将这些锅盖巨细的镜头光学孔径数值提升到了1.33，已经靠近了光学镜头的极限。
德国蔡司能把光学镜头的光学孔径数值已经能做到1.4，已经迫近了1.49这个极限，三阳光学厂能做到这个田地已经是很是了不起了。
这些镜片是三阳光学厂一位有着几十年镜头研磨履历的老技师在超高精度磨床和丈量仪器的配合下手工研磨出来的。
虽然这样的光学镜头产量少，生产时间很长，可是却是让三阳光学厂在光学镜头技巧上迈进了一流的光学器材厂商行列。
而瑞星科技公司也是为这套光刻机研发了减震器，接纳了内部关闭框架，将事情台与外部情况隔离，保持水平，淘汰外界振动滋扰，并保持稳固的温度、压力。
为了到达这些请求，瑞星科技公司崎岖所有职员都是削尖脑壳不停地想措施解决种种工程技巧上的难题，总算是将双工件台的第一台氟化氪激光光源的陶醉式光刻机给制作了出来。
这也就意味着瑞星科技公司这套光刻机可以支撑的极限制程工艺在32纳米，如果在这个期间三阳光学厂能将镜头的光学孔径数值进步到极限，那么可以支撑制程工艺来到22纳米！
瑞星科技公司并没有向外界颁布这个消息，也是等着明年上半年推出的时候好好地震一下艾斯摩尔和佳能和尼康这些光刻机厂商的。
“你们还真是有什么宝物都喜好躲着不让人看到呀！”杨子光叹息地说道。
“首长，我们公司内部有一套完整的测试实验流程和尺度，我们不盼看推出往的光刻机产物是有缺点的，瑞星科技公司要保证每一台交到客户手上的设备都是很是可靠的。”
“你们在这套光刻机上面投进了几多的研发用度？”杨子光问道。
“总共加起来在50多亿。”杨杰回复道。
“你们投进这么多，能收回资本吗？”杨子光体贴肠问道。
“请首长放心，我们这套光刻机我是很是有信心的，”杨杰笑着道：“瑞星科技公司测试实验的历程中这套设备运行是很可靠的，也是世界上第一台氟化氪光源的陶醉式光刻机，在技巧上来说我们已经走到了前面，我也有信心可以从全世界的光刻机市场内里拿到很高的市场份额，究竟这么好的工具各人都市想要的。”
“这么一台光刻机你们筹备要卖几多钱啊？”杨子光问道。
“瑞星公司内部也是做过核算，出口价钱定在四千万美金是较量合适的，海内的话还要自制些。”
杨子光张了张嘴，好几秒钟后才说道：“你们这个出口价钱一台抵得上两架枭龙战斗机了！”
现在枭龙的价钱每架或许在2000万美金，也是中原国现在出口的最高真个产物了，不外1光刻机却是要马上替换掉它了。
在前世的影象中，艾斯摩尔在陶醉式光刻机取得突破后尼康和佳能的的高端光刻机基础被吊打，主流半导体产线中只有少数低阶老机龄的光刻机照旧尼康或者佳能，其他基础都是艾斯摩尔的天下。
尼康的光刻机也只能用卖的超级自制来抢市场了，光刻机的单价只有2000多万美金，而同类型的艾斯摩尔氟化氪光刻机却是卖到了7000万美元左右。
相比之下，尼康跟佳能就显得很是拮据了。
重生之大学霸 最新章节 6光22章 g1光刻机！网址：